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产品资料

西特真空电容式压力计Model 730

西特真空电容式压力计Model 730
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:西特真空电容式压力计Model 730
  • 产品型号:Model730
  • 产品展商:Setra(西特)
  • 产品文档:
     Model730
简单介绍
Setra西特真空电容式压力计Model 730是一款高精度的电容式压力计(亦称电容式膜片真空计 (CDG)),适合在光伏、半导体和工业市场中测量对过程控制至关重要的低真空范围。西特真空电容式压力计Model 730产品读数精度达±0.5%,分辨率高,优于同类产品。730 型使用全InconelTM 接液材料,可承受半导体加工过程中的腐蚀性介质。由于采用直接测量设计,它能**测量介质,不受应用中气体混合物成分的影响。
产品描述

  Setra西特真空电容式压力计Model 730是一款适合苛刻应用的高性能产品,其采用采用单膜片可变电容感应元件,适用于苛刻的半导体和工业真空应用。Setra西特真空电容式压力计Model 730具有读数精度和分辨率高、动态范围宽的特点,使之成为关键制造过程中的理想选择。Inconel® 设计保证通用性,所有接液部件均采用I n c o n e l T M 材料, 因此对半导体和工业真空过程中的腐蚀性介质具有极高的耐受性。I n c o n e l T M 材料结合全焊接结构, 确保7 3 0 型在这类应用中的长使用寿命。

  Setra西特真空电容式压力计Model 730内置膜片可在使用点直接测量压力变化。与其他工业电容式压力计不同,7 3 0 型测量直接压力, 不受被测混合气的影响,这使其精度优于间接测量型压力计且所有压力量程可直接承受耐压45PSIA,其特性:·高精度:±0.5% 读数·张紧的膜片保证优异的性能·工作温度补偿范围宽·回路噪声低,响应快·不易受环境条件变化影响·出色的抗过压设计·符合CE 和RoHS 规范等。

  Setra西特真空电容式压力计Model 730性能参数和物理参数如下:

精度: ±0.5%读数 、±0.25%读数(可选) 响应时间:<20 ms  分辨率无限,仅受输出噪声的限制(≤0.005%FS)

补偿范围:0~+50℃ 零点漂移:0.25% FS/50℃ 长期稳定性: 0.5% FS/1年,不受环境条件影响

工作温度:0至+80℃   量程漂移1.35%读数/50℃

激励/输出: 12-30 VDC/0-10 VDC  9-30 VDC/0-5 VDC
电流消耗:<10 mA(最大值)  输出负载:>10 kΩ  输出阻抗<1 Ω

压力介质:量程漂移1.35%读数/50℃ 环境参数与Inconel®兼容的气体或液体。Inconel®接液材料仅适用于0.5"管道选项。其他接头选项会添加不锈钢。

壳体:不锈钢  重量(近似值) <250 g

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