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NanoCalc 薄膜反射测量系统
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NanoCalc 薄膜反射测量系统
产品资料
NanoCalc 薄膜反射测量系统
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
NanoCalc 薄膜反射测量系统
产品型号:
NC-VIS
产品展商:
其它品牌
产品文档:
无相关文档
简单介绍
NanoCalc 薄膜反射测量系统,NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm~250µm的膜厚分析测量,对单层膜的分辨率为0.1nm。根据测量软件的不同,可以分析单层或多层膜厚。 NanoCalc薄膜反射材料系统适合于在线膜厚和去除率测量,包括氧化层、中氮化硅薄膜、感光胶片及其它类型的薄膜。NanoCalc也可测量在钢、铝、铜、陶瓷、塑料等物质上的抗反射涂层、抗磨涂层等。
产品描述
NanoCalc
薄膜反射测量系统
薄膜的光学特性主要有反射和干涉
.NanoCalc
薄膜反射测量系统可以用来进行
10nm~250µm
的膜厚分析测量,对单层膜的分辨率为
0.1nm
。根据测量软件的不同,可以分析单层或多层膜厚。
产品特点
可分析单层或多层薄膜
分辨率达
0.1nm
适合于在线监测
操作理论
*常用的两种测量薄膜的特性的方法为光学反射和投射测量、椭圆光度法测量。NanoCalc利用反射原理进行膜厚测量。
查找n和k值
可以进行多达三层的薄膜测量,薄膜和基体测量可以是金属、电介质、无定形材料或硅晶等。NanoCalc软件包含了大多数材料的n和k值数据库,用户也可以自己添加和编辑。
应用
NanoCalc
薄膜反射材料系统适合于在线膜厚和去除率测量,包括氧化层、中氮化硅薄膜、感光胶片及其它类型的薄膜。
NanoCalc也可测量在钢、铝、铜、陶瓷、塑料等物质上的抗反射涂层、抗磨涂层等
。
NanoCalc
系统
NC-UV-VIS-NIR
重量:
250-1100 nm
厚度:
10 nm-70 m
光源:
氘卤灯
NC-UV-VIS
重量:
250-850 nm
厚度:
10 nm-20 m
光源:
氘卤灯
NC-VIS-NIR
重量:
400-1100 nm
厚度:
20nm-100µm (
可选
1µm-250µm)
光源:
卤灯
NC-VIS
重量:
400-850 nm
厚度:
50 nm-20μm
光源:
卤灯
NC-NIR
重量:
650-1100 nm
厚度:
70 nm-70μm
光源:
卤灯
NC-NIR-HR
重量:
650-1100nm
厚度:
70 nm-70μm
光源:
卤灯
NC-512-NIR
重量:
900-1700 nm
厚度:
50 nm-200μm
光源:
高亮度卤灯
NanoCalc
规格
入射角:
90°
层数
:
3
层以下
需要进行参考值测量
:
是
透明材料:
是
传输模式
:
是
粗糙材料
:
是
测量速度:
100ms - 1s
在线监测
:
可以
公差(高度):
参考值测量或准直
(74-UV)
公差(角度):
参考值测量
微黑子选项:
配显微镜
显示选项:
配显微镜
定位选项:
6"
和
12" XYZ
定位台
真空
:
可以
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