Varian TV 801 Navigator Bolted Flange最大的特色是对小分子气体的超大抽速，
对应氢气的抽速为850L/S ，该项指标让全世界的所有其他品牌分子泵望尘不及。
Varian TV1001 的涡轮转子采用Varian**的“MacroTorr”技术设计加工而成，整个涡轮转子整体成型，共有由11层叶片组成，前七层为标准叶片，每层的角度从高到低，后四层为Varian **技术的“Macrotorr”碟片组成，涡轮转子其在分子泵内部以38000转／分钟的速度高速旋转。
Varian TV 801 Navigator Bolted Flange分子泵的机械结构图如下：
中山共享光电真空技术有限公司针对Varian TV801 Navigator分子泵维修的步骤
如下：
＊超声波**清洗转/定子叶片及腔体并烘干
＊更换了全套原装进口陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品
＊马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量
＊根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至Ｇ0.１6标准
＊测试0-38000rpm启动时间<3分钟
*测试极限真空值<1.0*10－7mbar
*持续模拟生产现场测试24小时
＊0-20KHz震动频谱加速度分析
＊6000-380000rpm全转速动平衡分析及校准
＊Pfeiffer HLT560氦质谱检漏仪测试分子泵的渗漏率小于2.0*10-9mbar*L/s
我司可以维修的Varian turbo pump的型号有：
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