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產品名稱:
EQ-PCE-3 等離子清洗機
產品型號:
EQ-PCE-3
產品展商:
MTI
產品價格:
0.00 元
簡單介紹
EQ-PCE-3 是微型臺式等離子清潔儀，這款離子清潔儀可利用空氣、氧氣或氬等離子來**玻璃、半導體、高分子材料、 金屬基座的表面納米有機污染物，在高射頻（RF）功率的情況下的*大有機物去除率約為10nm/min 。對材料進行涂覆鍍膜前,使用本等離子清潔儀對單晶基片進行清潔能獲取更好的效果。
EQ-PCE-3 等離子清洗機的詳細介紹
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產品型號：
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EQ-PCE-3 微型臺式等離子清潔儀（帶真空泵）
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產品簡介：
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EQ-PCE-3 是微型臺式等離子清潔儀，這款離子清潔儀可利用空氣、氧氣或氬等離子來**玻璃、半導體、高分子材料、 金屬基座的表面納米有機污染物，在高射頻（RF）功率的情況下的*大有機物去除率約為10nm/min 。對材料進行涂覆鍍膜前,使用本等離子清潔儀對單晶基片進行清潔能獲取更好的效果。
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主要特點：
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外型美觀精巧
可調節射頻功率(高、中、低)
操作**,成本低廉,對人類和環境無害
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技術參數：
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1. 輸入電源：115V AC ,50/60 Hz；或 230V AC, 50/60 Hz, ﹤ 200W
2. 輸出頻率：13.56 MHz
3. 等離子發射頻率：三種可調輸出電壓:
低 680V DC 10mA DC 6.8W
中 700V DC 15mA DC 10.5W
高 720V DC 25mA DC 18 W
4. 等離子艙體：76mm(直徑)x 165mm(長) 硼硅酸玻璃艙體 可拆卸式前蓋
5 .真空泵與控制閥門：雙極旋片真空泵 (110V, 226 L/m) 帶過濾器和KF-D25閘口----配有KFD25接頭, 600mm長不銹鋼管與高質量的過濾器
6. *大終端壓力為30 mTorr或更小
7. 1/8" NPT 針型閥門有效控制氣體的流動和艙體內的壓力
8. 1/8" NPT 三通閥門以便放散氣體, 艙體隔離及泄氣狀態的轉換
9. 惰性氣體：根據所需清洗的污染物可選擇采用N2, Ar, Air 和混合氣體
注意不能使用可燃性氣體
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標準配件：
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可選配件：
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若使用2"晶體石英舟,這種清潔儀能一次處理25個直徑2"的晶體；
數碼真空計量器，用于**調控艙體壓力
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產品規格：
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規格：216mm(H) x 254mm(W) x 203mm(D)
凈重：6.5 kg （不帶真空泵）14.0 kg（帶真空泵）
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