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 4路質子混氣管式PECVD系統
 1200℃小型磁力滑動管式爐
5”管徑12”L開啟式管式爐
多工位1200℃雙溫區回轉爐
多工位1200℃單溫區回轉爐
立式開啟氣氛管式爐1200℃
三溫區1200℃開啟式管式爐
雙溫區1200℃開啟式真空氣氛管式爐
單溫區1200℃開啟式真空管式爐
1200℃五溫區管式爐
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