氦质谱检漏仪

ZLS－26D/T型氦质谱检漏仪是新型的全功能氦质谱检漏仪，机内采用涡轮分子泵作主排气机，启动快（仅五分钟即可使用）。仪器可以在测试口压强近似大气时，采用道扩散方式进行检漏，也可以在测试口压强为50Pa以下时采用常规方式进行检漏；用常规方式检漏时，可以在分流状态下检较大的漏隙（测试口压强在50～10^-1Pa），也可以在不分流状态下检微小的漏隙（测试口压强在10^-1Pa以下）。仪器测量范围可达2×10^-1～2×10^-12Pa·m/S。仪器采用光柱和数码管直接显示漏率，且可按需要选用适当的漏率单位（仪器已给出四种常用单位Pa·m^3/S、Torr·L/S、mbAR·l/s、atm·cc/s），读数方便仪器有音响报警装置，报警点可以任意设定，使用方便。本仪器适用于工厂车间和实验室对各种零部件作喷氦法（真空检漏法）、吸氦法（压力检漏法）、背压法检漏。其中ZLS-26D型**已通过二炮验证，开始批量为其提供配套。

主要技术参数：
仪器*小可检漏率：优于5～10^-12Pa～m^3/s
仪器*大可检漏率：2×10^-1Pa～m^3/s
仪器漏率显示范围：2×10^-1～2×10^-13Pa～m^3/s
仪器的反应时间： 不大3s
仪器质谱室允许工作的*高压强：1×10^-2Pa
仪器测试口允许工作的*高压强：1000Pa
被检件由粗抽至检清的自动切换点
（检漏点）可调范国：50～10^-1Pa
音响器报警点设定范围：任意
背压法检漏时间可调范围：5～30s
仪器的启动时间： 不大于5min
仪器的轮廓尺寸： 640*550*980 mm^3
仪器的重量： 约75Kg

氦质谱检漏仪对比
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型 号 *小可检漏率Pa.m^3/s
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ZLS-23B 2·10^-11
ZLS-24B 2·10^-11
ZLS-24C 2·10^-11
ZLS-26D/T 5·10^-12
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型 号 反应(**)时间 s
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ZLS-23B ＜3
ZLS-24B ＜3
ZLS-24C ＜3
ZLS-26D/T ＜3
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型 号 读数方式
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ZLS-23B 表头（mV）
ZLS-24B 表头和数字（量程自动切换）
ZLS-24C 表头和数字（量程自动切换）
ZLS-26D/T 数字直读
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型 号 特 点
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ZLS-23B 单主机，带标准漏空
ZLS-24B 带一套粗抽系统（泵2XZ-4B），使用
于各种检漏方法，带标准漏孔
ZLS-24C 带二套粗抽系统，适用于批量检漏，
带标准漏孔
ZLS-26D/T 涡轮分子泵（德国莱宝50型）前级泵
（日本GLD030）粗抽泵（英国
EDWARDERV12），带标准漏孔