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产品资料

BAG552热电离真空计

BAG552热电离真空计
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:BAG552热电离真空计
  • 产品型号:
  • 产品展商:INFICON
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简单介绍
对于需要独立热离子规技术的应用,Trigon™ 系列中包含了采用单一技术的 Bayard-Alpert 热电离规 BAG552。 BAG552 专为压力范围为 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的气体真空测量而设计。支持双灯丝,具有出色的精度、可重复性和使用寿命。BAG552 还可与 INFICON 真空计控制器系列 VGC501、VGC502 和 VGC503 配合使用。
产品描述
对于需要独立热离子规技术的应用,Trigon™ 系列中包含了采用单一技术的 Bayard-Alpert 热电离规 BAG552。

BAG552 专为压力范围为 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的气体真空测量而设计。支持双灯丝,具有出色的精度、可重复性和使用寿命。BAG552 还可与 INFICON 真空计控制器系列 VGC501、VGC502 和 VGC503 配合使用。


优势

1,纯粹的 Bayard-Alpert 测量系统,适用于超高压和高压测量范围
2,双灯丝设计
3,电隔离电子设备,避免杂散电流
4,滑动发射模式,避免在切换发射流时出现压力跳跃和冻结现象
5,可移动校准数据芯片,延长了烘烤时间
6,设定点继电器
7,明亮大屏幕 OLED 显示屏(可 90° 旋转),带用户界面
8,模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
9,可与 VGC50x 控制器系列配合使用
10,符合 RoHS 规范

典型应用

半导体工艺中的压力测量
工业镀膜
高真空至超高真空范围内系统的一般真空测量和控制


测量范围 :(气, O2, CO, N2) 5 × 10-10 … 2 × 10-2 mbar 
准确度 :1 × 10-8 … 2 × 10-2 mbar ±15% 读数 
可重复性: 5% 读数, 10-8 … 2 × 10-2 mbar (稳定 10 分钟后) 
暴露在真空中的材料 不锈钢、镍铁合金、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、镍、钨 







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