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公司简介

  • 关于FEI公司：
    Tools for NanoTech

    FEI 公司的纳米技术工具，以聚焦离子束和电子束技术为特色，提供*高分辨率小于1 埃的3D 特征描述、分析及修改功能。公司在北美和欧洲拥有研究开发中心，在全球四十多个国家经营销售和提供维修服务。FEI 公司将纳米尺度呈献给研究人员和生产厂商，协助将本世纪一些*杰出的理念变成现实。更多的信息可在FEI 公司网页上找到：http://www.fei.com


    FEI公司历史简介：

    1949年
    飞利浦电子光学发布了全球**台商用透射电子显微镜

    1958年
    飞利浦电子光学突破10埃的透射电镜分辨率(EM200)

    1971年
    FEI成立，向用户提供高纯、单一取向晶体作为场发射研究的材料

    1975年
    飞利浦电子光学发布EM400透射电子显微镜，成为现代透射电镜发展的基础

    1977年
    飞利浦电子光学发布高分辨扫描电子显微镜

    1981年
    FEI发明液体金属离子源（LMI），成为聚焦离子束（FIB）设备开发的基础

    1982年
    FEI**只聚焦离子束镜筒交货

    1983年
    FEI交付**个静电场聚焦电子镜筒
    Micrion成立, 致力于开发掩膜修复用途的聚焦离子束系统

    1985年
    Micrion交付**台聚焦离子束系统

    1989年
    FEI发布完整的FIB工作站
    ElectronScan发布全球**台环境扫描电子显微镜(Environmental SEM)

    1990年
    飞利浦电子光学发布PC控制的扫描电子显微镜XL系列，成为扫描电镜数字化的先驱

    1990年
    飞利浦**台6“晶片样品台的扫描电镜发布

    1993年
    FEI和飞利浦电子光学联合发布“双束”（电子束＋离子束）工作站

    1995年
    FEI交付第100台聚焦离子束(FIB)系统

    1996年
    FEI交付第5000只液态金属离子源
    Micrion发布其8000系列聚焦离子束系统, 用于IC掩膜修复

    1996年
    飞利浦电子光学收购美国ElectronScan公司及其”环境扫描(ESEM)”技术
    飞利浦电子光学收购位于捷克布尔诺的Delmi公司

    1997年
    FEI和飞利浦电子光学宣布合并其全球业务
    交付**台晶片工厂的在线双束系统

    1998年
    FEI发布全数字化、全一体化的透射电子显微镜Tecnai

    1999年
    新的FEI购并美国Micrion公司

    2000年
    发布**台小样品台双束系统

    2001年
    交付**台安装有单色器的透射电镜

    2002年
    FEI收购Atomika (SIMS二次离子质谱仪)

    2002年
    FEI发布Quanta系列扫描电子显微镜

    2003年
    FEI发布科学研究和工业分析用“双束”（电子束＋离子束）工作站Quanta 3D和Nova NanoLab

    2003年
    FEI收购Emispec (ESVision)

    2004年
    FEI使用安装有单色器和球差矫正器的200kV Tecnai场发射透射电子显微镜突破1埃分辨率极限

    2005年
    FEI发布全球**台超高分辨率低真空场发射扫描电子显微镜Nova NanoSEM
    FEI发布专门用于图像矫正的透射电镜Titan 80-300, 分辨率达到0.7埃