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- 产品名称:Verifire ATZ激光干涉仪
- 产品型号:Verifire™ ATZ
- 产品展商:美国ZYGO
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简单介绍
高精度的光学元件和光学系统需要高性能的测量技术和方法
产品描述
Verifire™ ATZ激光干涉仪
Ring of Fire™点光源是Verifire™ AT激光干涉仪获取清洁图像的基础,传统的激光干涉仪用的是相干点光源,在测试腔中形成相干光。但是,点光源在光路中遇到细小颗粒时同时也会产生寄生的干涉条纹(牛眼环)。独特的Ring of Fire™光源系统是只对光学腔产生干涉,而将干涉腔外的细小颗粒产生的干涉条纹遏制,整个干涉仪的性能得到增强,所测量的性能得到增强,所测量的结果更令人信服。
高精度的光学元件和光学系统需要高性能的测量技术和方法,不仅需要具备高速操作简单和长期稳定的检测设备和方法,同时更需要更高精度产品检测的需求。ZYGO Verifire™激光干涉仪做开创的Ring of Fire™光源技术,消除了长期困扰的“牛眼环”所带来的测量上的影响,将测量精度提高到一个新的台阶,同时配备ZYGO自主开发的Metropro软件,以及与传统激光干涉仪互配的各种附件,真正使Verifire™激光干涉仪在高速、简易和稳定基础上达到新的高度。可以说,ZYGO Verifire™激光干涉仪不仅是新一代的激光干涉仪,更是一次新的干涉测量技术的ge命。
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