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- 产品名称：移动式氦气检漏仪
- 产品型号：UL1000FAB
- 产品展商：INFICON
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简单介绍
INFICON英福康UL1000FAB移动式氦气检漏仪UL1000FAB 移动式氦气检漏仪
产品描述
UL1000 Fab
ULTRATEST™ 传感器技术
工业真空和半导体制造中真空泄漏检测的“干式”标准
INFICON UL1000 Fab 氦气检漏仪是工业或半导体环境中经济型氦气真空泄漏检测的公认标准。
通过仪器的干式泵技术，可以消除被测部件或设备被碳氢化合物或颗粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高稳健性和经济性之间提供了*佳的性价比。它提供*先进的 10-12 mbar·l/s 检测极限，具备合理的短抽气时间和响应时间的特点。紧凑的设计提供了高度的机动性，方便进入空间有限的维修区域。可选的背景抑制（iZERO）功能能够在2秒内实现低于现有背景水平状态持续进行泄漏测试。
所有特性都使您能够缩短泄漏测试工作的时间，同时确保可以经济实惠地检测出所有泄漏。
稳定性和敏感度的新疆界，检漏低达10-12毫巴·升/秒
英福康UL1000FAB移动式氦气检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。
凭借工厂环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性，UL1000FAB氦气检漏仪提供在所有测量范围中提供极快的漏率响应。通过结合高速氦气抽吸和高进气口压强的*佳真空结构，UL1000FAB氦气检漏仪提供漏率低达< 5×10-12毫巴·升/秒。砖利软件I-CAL（智能漏率计算法）让您忘记在低漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼，因为UL1000能够对所有漏率范围做出快速响应。
可选配的遥控器RC1000WL允许距离为100米时超过8小时的无线作业。该单元配置一个3.5″的丰彩触摸显示屏并具备直观的操作特点。连接2个或多个检漏仪的RC1000C有线型和无线遥控手柄用于完成产品组合。
使用额外的TC1000测试盒附件，UL1000FAB氦气检漏仪为密封产品提供简单、快速、**的测试，如IC包装、石英晶体和激光器二极管（根据MilStd883，方法1014）。
特征概览
15级的宽测量范围
较短的抽气和响应时间
移动式全金属外壳为优良可操作性提供了额外便利性
I-CAL确保了所有测量范围中泄漏的*快响应时间
抑零功能和自动积分时间校正提供快速、可靠的测试结果
含坚固耐用涡旋泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计提供高速氦气抽速和高压缩比
旋转式显示器和用户界面允许该单元的简单、轻松控制和交互作用
自保护功能可防止UL1000Fab氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染
自动吹扫循环可确保随时可用性
通过电子邮件进行软件升级
含两个灯丝离子源（3年质保）的耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本
内部校准用的内置校准漏孔确保了**的测试结果
内置软件菜单“自动测漏”功能可使用TC1000测试盒执行密封部件的自动测试
可选RC1000遥控器
应用
半导体加工工具上的维护工作
工艺气体系统的检测和安装
部件检漏
需高泵抽速、高灵敏度和清洁测试条件的应用
规格
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类型
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Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
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氦气（真空模式）*低可检漏率
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mbar•L/s
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< 5 • 10-12
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氦气（吸**式）*低可检漏率
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mbar•L/s
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< 5·10-8
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GROSS 模式*大进气口压力
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mbar
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15
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FINE 模式*大进气口压力
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mbar
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2
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ULTRA 模式*大进气口压力
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mbar
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0.4
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抽真空期间的抽气能力
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m³/h
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25 at 50 Hz
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GROSS 模式氦气抽气能力
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L/s
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max. 8
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FINE 模式氦气抽气能力
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L/s
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7
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ULTRA 模式氦气抽气能力
|
L/s
|
2.5
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可检测质量数
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2,3,4 amu
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质谱仪扇形场
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180°
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灯丝离子源铱/氧化钇涂层
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2
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内置校准漏孔
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mbar•L/s
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∼ 10-7
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测试端口
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DN 25 KF
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1
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可调触发器
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2
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接口
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RS 232
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图形记录器输出
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V
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2 x10
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输入/输出
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PLC compatible
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允许的环境温度（操作过程中）
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°C
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+10 to +40
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重量
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110
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尺寸（长x宽x高）
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1050 x 472 x 987
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电源电压 (EU)
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V (ac)
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230 (± 10 %) 50 Hz
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电源电压 (US)
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V (ac)
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100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz
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功耗 (typ.)
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VA
|
1100
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|
功耗 (typ.)
|
VA
|
1100
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附件
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Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
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零件号
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明细
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14005
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SL200，UL1000/5000/Modul1000 用吸枪探头，4 米长
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14022
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RC1000 extension cable, 8 m
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14090
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LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
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551-000
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Toolbox, detachable,for UL1000
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551-001
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Helium Bottle Holder for UL1000/5000
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551-002
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ESD Mat for UL1000/5000
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551-005
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TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
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551-010
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遥控器 RC1000C，有线，带 4 米卷线
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551-015
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遥控器 RC1000WL，无线，包括无线发射机
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551-020
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RC1000WL 用无线发射机
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