技术参数
主要特点
a）独立的专业分析系统，严格用于晶片分析，长时间的稳定性和优良的重现性 b）机器人移动样品技术，自动进行样品测定，快速测定能力 c）提供与Nexus相兼容的ECO模块，可自动分析各种尺寸的晶片 d）软件支持SEmI E84、E87、E90、E40 300mm f）配备自动分析台