日本ekusa 半导体用超纯水加热器EHS型

日本ekusa 半导体用超纯水加热器EHS型

特征：

高纯度、可靠性和可维护性

高纯度产品
所有与液体接触的部件均由PFA制成
无杂质洗脱
低温加热器，寿命长。
可与氢氟酸水一起使用。
可靠性
● *大正常工作压力为0.4MPa
● 无杂质洗脱
● 低温设计加热器，寿命长
● 可使用氢氟酸水
维护：
- 使用低温加热器，因此寿命是半长久性的，无需更换加热器。
- 结构紧凑，安装简便
 - 可以远程控制。

产品型号：EHS-1、EHS-2、EHS-3、EHS-4、EHS-5、EHS-6

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