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- 产品名称：KASHIYAMA 樫山工业-干式真空泵-SDE30M20
- 产品型号：SDE30M20
- 产品展商：Kashiyawa 樫山工业
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简单介绍
KASHIYAMA樫山工业-干式真空泵-SDE系列SDE1220 SDE20M20 SDE30M20 SDE4060 SDE4030M20 SDE8060 SDE804060
产品描述
KASHIYAMA 樫山工业- 干式真空泵 -SDE系列
特征
*高抽速可达200,000 L / min级
适用于大型晶圆/ FPD基板
所有流程兼容对应于任何进程
主要型号
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规格/型号
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SDE1220
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SDE20M20
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SDE30M20
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SDE4060
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SDE4030M20
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SDE8060
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SDE804060
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*大抽速
[L / min] * 2
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20,000
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30,000
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50,000
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60,000
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80,000
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120,000
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190,000
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抵达压力
[Pa] * 2
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0.5
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0.8
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0.5
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0.8
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0.5
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电源电压
（50/60 Hz）
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3相 AC200～220V, 380～480V
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外观尺寸
[mm]
W * H * L * 3
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W:400
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W:450
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W:450
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W:750
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W:800
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W:850
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W:1000
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H:780
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H:950
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H:950
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H:1200
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H:1580
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H:1220
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H:1980
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L:930
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L:1000
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L:1000
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L:1600
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L:1320
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L:1600
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L:1850
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*排气性能曲线将被组合来改变。
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