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- 产品名称：FF-20BT/CT1 气动波纹管泵 IWAKI
- 产品型号：FF-20BT/CT1
- 产品展商：IWAKI 易威奇
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简单介绍
Iwaki气动波纹管泵
节能设计，减少空气消耗
响应超洁净的半导体工艺
F系列是专为半导体制造工艺设计的气动波纹管泵。
从湿式清洁工艺开始，产品阵容充足，
它广泛地适用于化学液体供应设备和CMP工艺。
产品描述
FF-20BT/CT1气动波纹管泵 IWAKI 易威奇
FF / FF-H系列
产品特点
节能设计：我们尽可能地减少了气室的死体积，以减少空气消耗。
中温型和高温型：FF系列可处理各种化学品，从常温到高温（20到180°C），中温规格（PVC圆筒型：5到50°C，铝圆筒型：5到100°C）和FF - H系列。
无污染：氟树脂用于所有润湿部件。 它是一种无污染的设计，不使用橡胶或金属，例如在泵的外圆周上涂覆氟树脂涂层。 此外，由于FF-H系列的主体和波纹管完全焊接在一起，因此热循环不会发生液体泄漏。
**设计：带内置泵的接近开关采用可切换电磁阀的传感器驱动系统。 泄漏传感器也是标准设备。
产品规格
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型号
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FF-20BT/CT1
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*大排放量 L/min
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22
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供气压力范围MPa
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0.15～0.3
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液体温度范围 ℃
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B型：5～100 C型：5～50 注
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*大耗气量NL/min
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180
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泵冲程数 spm
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Max.120
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泵连接口直径
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3/4″ PFA管
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空气连接口直径
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Rc1/4
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环境温度 ℃
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0～40
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驱动方法
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接近开关方法
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注：B型圆筒材料为Al +氟涂层，C型为PVC。
*大放电容量是根据淡水20°C的情况而定的性能。
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