ULVAC单晶片等离子CVD设备（重庆内藤） CMD-1800 重庆内藤机械设备有限公司

简单介绍

通过为每个单元开发可以在比常规过程温度更高的温度下运行的驱动系统和真空传输机器人，已经实现了稳定的传输系统。 ULVAC爱发科间歇式溅射设备（重庆内藤） ULVAC爱发科间歇式溅射设备（重庆内藤） ULVAC爱发科间歇式溅射设备（重庆内藤）

产品描述

特征

规范

		CMD-450BHT	CMD-650HT	CMD-950	CMD-1500	CMD-1800
板子尺寸（mm）		400 x 500 x t0.7	600 x 720 x t0.7	730 x 920 x t0.7〜0.5	1300 x 1500 x t0.7-0.4	1500 x 1800 x t0.7〜0.4
房间组成	1）准备/撤离室	2间
房间组成	2）暖气室	1间
	3）反应室	4个房间（如果有退火房间，则为3个房间）		5个房间（如果有退火房间，则为4个房间）
	4）运输室	1个房间（七边形）		1个房间（八角形）	1个房间（七边形）
	5）真空排气系统 /准备室 /取出室/反应室	旋转+机干+机干			干+麦加布
	6）移板机	选项
生产		65秒/张（我们的标准条件SiN 300nm单层）		75秒/张（我们的标准条件 SiN 300nm单层）	不带加热室：65秒/张带加热室：90秒/张（我们的标准条件为SiN 300nm单层）

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