晶片・液晶卡爪WHA系列 可根据用户的需求规格设计并定制，相关事项请另行咨询。因为是边缘夹具，不会与内外面接触。 固定、搬运。 采用夹紧搬运方式，可适用于各种搬运形态。可有效地防止装置高速化导致的芯偏移现象。 不会接触晶片内外面。 只接触边缘部分，不会担心以夹紧或吸附方式搬运时留下痕迹。 适用于1级洁净室。 WHA系列 只设侧臂的单侧驱动式边缘夹具。 （详情请咨询TEL: QQ;1280713150 白先生） 型号 WHA-200AS WHA-300AS WHA-450AS 搬运工件 晶片 工件尺寸 φ200 φ300 φ450 搬运方式 边缘夹具 搬运数量 1片 驱动方式 闭合方向 弹簧（夹具方式） 开启方向 真空压力-60KPa ~ 95KPa(采用负压气缸) 工作行程 10mm（夹7mm 钳3mm） 抓力 ２．４Ｎ ～１．９Ｎ 约7N 洁净度 FED规格 1级（需吸附） 牙叉（fork）材质 CFRP 紧固件・挡片・垫板 PEEK 主体质量 约0.4kg 约0.5kg 约1.7kg 选项 开闭确认传感器
（详情请咨询TEL: QQ;1280713150 白先生）
型号 WHA-200AS WHA-300AS WHA-450AS 搬运工件 晶片 工件尺寸 φ200 φ300 φ450 搬运方式 边缘夹具 搬运数量 1片 驱动方式 闭合方向 弹簧（夹具方式） 开启方向 真空压力-60KPa ~ 95KPa(采用负压气缸) 工作行程 10mm（夹7mm 钳3mm） 抓力 ２．４Ｎ ～１．９Ｎ 约7N 洁净度 FED规格 1级（需吸附） 牙叉（fork）材质 CFRP 紧固件・挡片・垫板 PEEK 主体质量 约0.4kg 约0.5kg 约1.7kg 选项 开闭确认传感器
渝公网安备 50019002501360号
