线性测微计 支持自动化仪表及专用量具的配套使用 Laser Hologage (激光全息测微计) 542 系列 — 0.00001mm 分辨率型 三丰公司的激光全息测微计是一种**数 显测量系统，采用衍射光束干涉，进行高 精度和高重复精度测量。它具有超细衍射 光栅，将全息影像记录在刻度尺上。激光 全息测微计适于测量精度极高的工件，特 别适于半导体等行业使用。 特点 由于具有 0.00001mm (0.01µm) 的极高分 辨率适于进行高精度测量，其性能接近 激光干涉仪。 具有极高的测量稳定性——高防护性设 计，适于在恶劣的环境下工作，如温度 和气压变化的环境。 心轴导轨使用高精度线性滚珠轴承，移 动非常滤波且延长了使用寿命。 带有显示装置。
分辨率 : 0.01µm 长度基准 : 激光全息测量传感器 *大反应速度 : 250mm/s 测针 : R5mm 硬质合金 轴套 : ø15mm 轴承类型 : 高精度线性滚珠轴承 测力 : 参见性能参数 输出信号 : 90º 相位差 , 差动方形波 信号间距 : 0.25µm
渝公网安备 50019002501360号
