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产品详情
  • 产品名称:S48/32低成本质量流量控制器

  • 产品型号:
  • 产品厂商:日本HORIBA
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简单介绍:
低成本质量流量控制器S48/32 S48/32是horiba厚礼博的畅销产品,流量从1sccm-50LPM,精度1%,电源有±15V和24V可选,输出信号有4-20mA、0-5V可选。 质量流量控制器(流量计)(Mass gas flow controller(meter))缩写为MFC(MFM))是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。 *气体流量不因温度、压力的变化而失准 *高精度 *重复性好 *响应速度快、软启动、稳定可靠 *低压降*操作使用方便,可任意位置安装。
详情介绍:
低成本质量流量控制器S48/32

S48/32是horiba厚礼博的畅销产品,流量从1sccm-50LPM,精度1%,电源有±15V和24V可选,输出信号有4-20mA、0-5V可选。

质量流量控制器(流量计)(Mass gas flow controllermeter))缩写为MFC(MFM))是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。

*气体流量不因温度、压力的变化而失准 *高精度 *重复性好 *响应速度快、软启动、稳定可靠 *低压降

 *操作使用方便,可任意位置安装。

S48 32/HMT质量流量控制器(流量计)

编号 项目 S48 32/HMT
1 流量规格 (10,50,100,500)mL/min  (0~1,5,10)L/min
2 调节阀类型 电磁调节阀
3 调节阀静止状态 常闭
4 安装方向 任意
5 流量控制范围 2%~100%
6 流量测量范围 (0~100)%
7 零点温漂 ±30mV(15℃~35℃)
8 响应时间 2s(设定值的±2% F.S)
9 工作环境温度 5℃~50℃
10 精度保证温度 15℃~35℃
11 精度 ±1.0%F.S
12 线性精度 ±0.5%F.S
13 重复性 ±0.2%F.S
14 工作压差 <5L/min(0.05~0.3)MPa ,5L/min~10L/min: (0.1~0.3)MPa
15 耐压 10MPa
16 泄漏率 1×10-8 Pa.m3/s
17 接触气体材料 橡胶密封:SUS316L、PTFE、Viton氟橡胶
金属密封:316L、PTFE
18 管路接头 1/4Swagelok,Φ6~Φ10
19 供电电源 ±15VDC(±5%)。  +15V<100mA,-15V<150mA;
+24VDC,250mA
20 设定信号 ±15VDC:(0~5)VDC    输入阻抗>1MΩ
+24VDC:0-5VDC、1-5VDC、4-20mA
21 流量输出信号 ±15VDC:(0~5)VDC     负载能力≤3mA
+24VDC:0-5VDC、1-5VDC、4-20mA
22 电气接头 D-SUB15
23 外形尺寸mm 113(宽)×121(高)×32(厚)
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