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- 产品名称：日本YAMATO大型等离子清洗机
- 产品型号：PC1000-5030
- 产品展商：其它品牌
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简单介绍
日本YAMATO大型等离子清洗机 PC1000-5030 本产品是用等离子来进行表面处理的专业装置。具有高性能，力求操作简便，快捷，可显示数据。广泛应用于以电子材料为中心的各个行业中。用途:用于CSP、BGA、COB、基板的等离子处理。消除有机膜，金属氧化膜。用于印刷电路板的干式清洗。界面活性处理。
产品描述
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日本YAMATO大型等离子清洗机PC1000-5030
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- RIE / DP mode selectable （RIE/DP模式切换选择使用）
- 配备大型样品室，适合大型基板清洗。
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Specifications（规格简介）
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Model（型号）
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PC1000-5030
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Plasma method （等离子模式）
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RIE • DP
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Electrode（电极）
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Parallel flat stage plate平行平板（电极间距可变）
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RF generator（高频输出功率）
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100~1000W
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Oscillation frequency（振荡频率）
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13.56MHz（水晶发振）
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Control system（控制系统）
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LCD Touch panel with PLC触摸式液晶显示操控盘
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Chamber size （工作室尺寸）
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(W)600×(D)370×(H)145mm
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Stage size（工作台尺寸）
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(W)500×(D)300mm
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Chamber material（工作室材料）
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Aluminum
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Reaction gas（反应气体）
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O2,Ar,CF4,C5F8,SF6 or others
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Purge gas（净化气体）
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N2 or Dry air
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Flow meter（流量计）
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Mass flow control 2 line（双路聚合流量控制）
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Vacuum pump（真空泵排气量）
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700L/min
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Gas system（气路）
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2 line (Reaction gas) , 1 line (Purge gas)
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External dimension（外形尺寸）
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(W)900×(D)950×(H)1,530mm
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Power supply（电源供应）
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AC200/220/380V 3 phase 25A
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