反应气体发生器
产品简介
ASTRON系列远程等离子体电源
产品详细信息
基于NF3等含氟气体电力，产生活性气体，广泛应用于CVD等工艺腔清洗，它具有功能大，效率高等特点。
产品有：
- ASTRON i-AX7670(3升)
- ASTRON ex-AX7685(6升)
- ASTRON hf-s-AX7645(15升,分体式）
- ASTRON hf-AX7640（15升）
- ASTRON hf+AX7635（22升）
- ASTRON hf++AX7667（30升）
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