日本YAMATO大型等离子清洗机 PC1000-5030

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产品价格： < 面议

产品型号：PC1000-5030

品牌：其它品牌

公司名称：深圳市朗普电子科技有限公司

所在地：广东深圳

发布时间：2018-07-15

浏览次数：3789 次

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产品简介

日本YAMATO大型等离子清洗机 PC1000-5030 本产品是用等离子来进行表面处理的专业装置。具有高性能，力求操作简便，快捷，可显示数据。广泛应用于以电子材料为中心的各个行业中。用途:用于CSP、BGA、COB、基板的等离子处理。消除有机膜，金属氧化膜。用于印刷电路板的干式清洗。界面活性处理。

产品详细信息

日本YAMATO大型等离子清洗机PC1000-5030
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RIE / DP mode selectable （RIE/DP模式切换选择使用）
配备大型样品室，适合大型基板清洗。

Specifications（规格简介）

Model（型号）	PC1000-5030
Plasma method （等离子模式）	RIE • DP
Electrode（电极）	Parallel flat stage plate平行平板（电极间距可变）
RF generator（高频输出功率）	100~1000W
Oscillation frequency（振荡频率）	13.56MHz（水晶发振）
Control system（控制系统）	LCD Touch panel with PLC触摸式液晶显示操控盘
Chamber size （工作室尺寸）	(W)600×(D)370×(H)145mm
Stage size（工作台尺寸）	(W)500×(D)300mm
Chamber material（工作室材料）	Aluminum
Reaction gas（反应气体）	O2,Ar,CF4,C5F8,SF6 or others
Purge gas（净化气体）	N2 or Dry air
Flow meter（流量计）	Mass flow control 2 line（双路聚合流量控制）
Vacuum pump（真空泵排气量）	700L/min
Gas system（气路）	2 line (Reaction gas) , 1 line (Purge gas)
External dimension（外形尺寸）	(W)900×(D)950×(H)1,530mm
Power supply（电源供应）	AC200/220/380V 3 phase 25A