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Transpector 2残余气体分析仪 C100F，C100M，H100F，H100M，H200F，H200M，H300F，H300M

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产品型号：C100F，C100M，H100F，H100M，H200F，H200M，H300F，H300M
品 牌：Inficon
公司名称：万德泉真空-真空技术全套解决方案
所 在 地：广东深圳
发布时间：2013-06-07
浏览次数： 次
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产品简介

inficon Transpector 2残余气体分析仪，超高灵敏度和性能优于的新一代残余气体分析仪，高灵敏性改善污染控制。

产品详细信息

Transpector 2残余气体分析仪Transpector® 气体分析系统是一种 RGA，可在半导体制造业中，为真空过程监控、过程诊断和泄漏检测提供**而可靠的数据。 与之相比，Transpector 2残余气体分析仪Transpector 2 提高了氢气灵敏度，使下限达 ppm 量级的污染均可一览无余，低电平信号下的扫描速度快达四倍，动态扫描范围更为宽泛，可在更低的可检分压强下提供更纯净的数据。

Transpector 2残余气体分析仪功能

  • 100-amu、200-amu 和 300-amu 系统配备有法拉第杯或组合式电子倍增器/法拉第杯
  • 提高氢气检测水平
  • 优异的峰值振幅和位置稳定性
  • 与原始 Transpector 相比，信噪比高达 10 倍
  • 低电平信号下扫描速度更快
  • 九个数量级的电子动态量程
  • 针对单腔室系统和多腔室系统的软件选项
  • 从 1 X 10 -4 Torr 到 5 X 10 -15 Torr 范围内的分压力测量

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