难溶金属硅PECVD设备 PECVD (等离子体增强化学气相沉积) 设备用于太阳能电池、多晶硅薄膜电池研究，也可沉积氧化硅、氮化硅、多晶硅及难溶金属硅化物等多种薄膜。

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