● 可对完整的硅片测量（*大可达直径30cm）。● 使用毛细管柱分析，可以此性测量多种有机化合物。● 可检测pg/cm2（硅片表面）的微量有机化合物。● 符合国家标准GBT 24577-2009 热,解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物● 符合国际标准ＳＥＭＩＭF1982-99，SEMI MF1982-1103

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气相毛细管色谱柱

MESP-405油色谱分析仪 ，MESP-405油色谱分析仪仪器左部是流量控制部件及气路面板，柱箱上方右部是离子化检测器安装 位置（基型安装二个火焰离子化检测器）以及热导池检测器（TCD）安装位置，柱箱上方左部是双填充柱进样器或毛细管进样器。,MESP-405油色谱分析仪由流量控制部件、进样器、色谱柱箱、检测器、温控及检测器电路部件、色谱工作站等部分组成。基型仪器中部是色谱柱箱，右侧上部是微机温度控制器，右侧下部是FID微电流放大器

Agilent安捷伦 125-7032 DB-WAX 气相毛细管柱，柱长30m，内径0.53mm，膜厚1μm。Agilent安捷伦 125-7032 DB-WAX 气相毛细管柱,低流失和高惰性能够提高灵敏度和分析性能，而安捷伦是业界**能够确保提供一致的柱惰性和极低柱流失的气相色谱柱.

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