ADEV氦离子色谱仪聚焦高纯气体杂质分析,针对氢气、氮气、氩气三大基体,实现10PPb级检测限的痕量杂质检测,覆盖氮、一氧化碳、二氧化碳、氧、甲烷等关键组分。
ADEV氦离子色谱仪通过痕量检测、多维度安 全、自动化运维、全场景适配等技术,满足半导体、化工、环境监测等领域对高纯气体杂质的严苛检测需求,为生产质量与安 全提供可靠技术支撑。
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