产品名称：Agilent/安捷伦E4991A阻抗分析仪 1MHz至3GHz

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一、核心功能与技术规格

1. 频率范围与精度

   • 频率覆盖：1 MHz 至 3 GHz，支持全频段扫描。

   • 基本精度：±0.8%（阻抗测量），高 Q 值精度适用于低损耗元器件分析。

   • 分辨率：1 mHz，支持精细频率调节。

2. 测量技术

   • 采用 射频电流-电压（RF-IV）技术，替代传统反射测量法，在宽阻抗范围内（120 mΩ 至 52 kΩ）提供更高准确性。

   • 测量参数：支持 |Z|、|Y|、θ、R、X、L、C、Q 等 18 种参数。

3. 关键选件与扩展能力

   • 直流偏置（选件 001）：±40 V 或 ±50 mA，用于有源器件测试。

   • 材料分析（选件 002）：介电/磁性材料评估（1 MHz–1 GHz）。

   • 晶圆测量（选件 010）：通过 Cascade Microtech 探针系统实现晶圆级阻抗测试。

   • 温变测试（选件 007）：支持 -55°C 至 +150°C 温度范围内的特性分析，带漂移补偿。

4. 操作与接口

   • 10.4 英寸触摸屏，Windows 风格界面，支持多通道数据显示。

   • 内置 VBA 编程 和 LAN 数据传输，便于自动化测试。

二、典型应用场景

• 元器件研发：高频电容/电感、射频滤波器、天线阻抗匹配等设计验证。

• 材料特性分析：介电常数、磁导率测量，适用于陶瓷、聚合物等材料。

• 半导体制造：晶圆级器件测试（需选件 010）。

• 温度可靠性测试：评估元器件在极端温度下的性能稳定性。

三、配套夹具与附件

常用夹具包括：

• 表面贴装器件（SMD）测试：16196 系列平行电极夹具（支持 DC–3 GHz）。

• 材料专用夹具：16453A（介电材料）、16454A（磁性材料）。

• 高低温适配：16194A 高温夹具（选件 007 配套）。