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技术文章

ASM380氦质谱​检​漏​仪​操​作​维​护​规​程

 

一、运行前检查
1、清洁检漏仪及其周围的卫生。
2、检查机械泵油窗,看油层是否位于*大值和*小至之间,如果不是,添加油,直到满足要求。
3、检查喷枪是否与氦气源连接好。
4、检查进气口是否与测试设备连接并紧固好。
5、检查电源线是否连接好。

二、操作程序
1、将检漏仪左侧下方的电源开关拨到“1”,即打开电源。控制面板指示灯闪烁,分子泵启动,系统进行自检。当自检完成时,测试循环准备就绪,可以进行检测。这时伴有声音提示“detector ready for cycle”且在LCD显示:
2、打开进气阀:
a、按F3键(其左边指示灯闪烁);
b、按“+”键,显示屏上显 示“INLET VENT:ON”;
c、按F3键。
3、启动测试模式:按“CYCLE”。
4、打开连接管路的阀门。
5、观察数码显示屏显示的数值,等到其显示的数值稳定后,可以开始检漏。

苏州高真空维修中心,专业从事氦质谱检漏仪维修多年。检漏仪维修,**美欧高真空维修中心!

网址:www.ihighvacuum.com

电话:

手机:

联系人:欧小姐

 

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