定制惯性传感器

定制化生产高精度微机电系统（MEMS）惯性传感器
日前，First Sensor集团宣布其高精度硅电容式惯性传感器顺利通过认证，计划于2017年4月投入批量生产。此种用于测量倾角、加速度和振动的传感器由多个部件组成，其中包括根据已获砖利的微机械技术（高宽比微结构（HARMS）与气隙绝缘微结构（AIM））制造的硅传感器元件以及集成至密闭型表面贴装器件（SMD）壳体内的专用集成电路信号处理元件。根据带宽不同，惯性传感器的分辨率*高可达10μg或0.0005°（2角秒），且可适配客户不同应用领域的机械和电气要求。此外，First Sensor集团还提供评估套件，可用于方便快捷地评价和配置传感器。

相比市场上现有其他设备，First Sensor的高精度惯性传感器具有**的性能特点和优良性价比。得益于高宽比微结构（HARMS），该系列无涂覆单晶硅微结构具有极低交叉轴灵敏度，能够实现高信噪比和优异的温度稳定性。此外，已获砖利的高柔性AIM（气隙绝缘微结构）技术通过气隙对组件进行隔离，从而*大限度减小寄生电容。倾角计能够在10Hz测量频率下提供±30°的测量范围，可实现小于0.0004°/√Hz的噪声密度与小于0.0015°的分辨率。First Sensor的加速度计提供±3g、±8g和±15g测量范围可选，能够在10Hz测量频率下实现小于30µg/√Hz的噪声密度与小于40µg至95µg的分辨率。

• 已获砖利的微机电系统微机械传感器元件（HARMS和AIM）
• 搭载数字输出信号的可配置型专用集成电路信号处理元件
• 高信噪比，分辨率可达10μg或0.0005°（2角秒）
• 可根据客户的个性化应用需求灵活定制

First Sensor的新型高精度倾角仪和加速度计可广泛用于工业、航空、建筑和医疗技术等领域。典型应用领域包括地质工程、状态监测、惯性导航系统、机器人、准直及调平等。