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洁净棚的特点

气流的重要性

洁净棚的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的洁净之移动、扩散受到气流的支配。

洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其洁净的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些产生的洁净一旦扩散，即无法维持洁净空间，因此必须利用气流将产生的洁净迅速排出室外。

风速的控制

洁净棚内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流快速是选0.25~0.5m/s之间，此气流快速属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而维持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以*适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。

另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之维持亦为一重要因素，均一气流若无法维持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面产生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。

垂直层流式方向要维持均一气流必须：(a)吹出面的风速不可有快速上的差异；(b)地板回风板吸入面之风速不可有快速上的差异。快速过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象产生，而0.5m/s之快速，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。

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