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洁净室等级测试规范：

一、洁净室的空气洁净度，应进行下列测试：

1．空态、静态测试：

A．空态测试：洁净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况下边行测试。

B．静态测试：洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进行测试。

2．动态测试洁净室已处于正常生产状态下进行测试。

二　、空态、静态测试：

洁净工作区空气洁净度的测试方法对于粒径大于或等于0.5微米的尘粒计数，宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数。也可采用滤膜显微镜计数法。光散射粒子计数法。

1．采样注意事项：

A．采样管必须干净，连接处严禁渗漏。

B．采样管的长度，应根据仪器的允许长度。当无规定时，不宜大于1.5米。

C．采样管口的流速，宜与洁净室断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的下风侧。

2．测点布置：

A．检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时，取样高度宜为离地面1米

B．层流洁净室测点总数不小于20点，测点间距为0.5～2.0米，粒径大于或等于0.5微米的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点仅布置在**洁净工作区内。

C．乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点。每增加20-50平方米，增加3--5个测点。

3．数据整理：

A．每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样，取其平均值，即为该点的实测数值。

B．对于大于或等于0.5微米的尘粒数确定：层流洁净室取各测定点*大值，乱流洁净室取各测点的平均值。

三、动态测试：

动态测试洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内有生产人员的情况下进行测试。

四、洁净室其它测试：

洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通用、空气调节的有关规定执行。

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