洁净室常用的仪器仪表

洁净室常用的仪器仪表

洁净技术目前广泛应用在电子半导体、制药设备、食品卫生、生物科技、医疗等领域，随着科技的进步对洁净室的要求也越来越高。从洁净室的角度，说说自动化仪表控制与监测技术在洁净室的应用。   

现代洁净室技术将洁净室设计建造、洁净室测试与检测、洁净室运行分为三大范畴， 每一范畴内都包含了自动化仪表控制与监测技术。净化工程是系统性很强的一项工程，它包括净化围护结构、净化空调系统。

整个系统是否合理、是否*终能够满足空气净化级别和生产工艺所要求的各项指标或参数，取决仪器仪表的检测和自动化程度的高低。对于整个净化空调系统来说，净化空调机组和风管是这个系统的重要组成部分。它的作用是对空气进行过滤、加热或降温，加湿或减湿后送至各需要的场所。但是送入房间的空气是否达到了洁净要求，空气的温度、湿度是否满足生产要求，则需要由检测和控制设备来实现。

1．洁净室空调系统的特点   

风机的压头高，风量大         

温度，湿度控制精度高

正负微差压控制精度高         

过滤系统效能要求高

变风量调节要求高

要求具备高的稳定性和可靠性   

针对于洁净室工程的特点，在控制仪表和检测仪表方面需要更高的可靠性能和稳定性能，这样不仅能达到工艺生产的目的，还能节能降耗，降低生产成本，保护环境。

2 洁净室的微差压的控制：

按工艺要求维持洁净室与周围空间一定的微小差压，可正压或负压。微差压可通过送风口，回风口或余压阀来控制。    

压差控制在净化空调系统中是一个非常重要的环节。只有通过对净化区域的压差进行控制，保证合理的气流组织，才能达到净化和工艺的要求。例如洁净厂房必须保 持一定的正压使外界未经净化的空气不会进人净化区域，保证洁净级别；并且通过对各净化区域的不同的压差控制，达到净化分区的作用，在GMP中就要求不同净 化级别区域的压差应得到控制不小于+5Pa。在生物安全洁净室中，压差控制更是保证安全防护屏障的关键手段，《生物安全实验室建筑技术规范》要求必须使实验室的负压梯度得到稳定可靠的控制。因此对于净化空调系统来说，压差控制是非常重要的。    

根据《洁净室设计规范》（以下简称《规范》），洁净室室内压力保持高于外部压力，则为正压洁净室：反之称为负压洁净室。正压与负压是相对而言的，一个洁净室对大气而言是正压洁净室，但对另外一个房间而言可能是负压洁净室。《规范》规定不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差不小于5Pa，洁净区与室外的压差不小于 10Pa。洁净室内走廊与非洁净区至少维持30Pa正压压差。这种压差建立的基本原理是送风量大于回风量、排风量、渗漏风量来实现的。

3 洁净室的洁净度控制：

洁净度的控制主要通过过滤器和室内需达到一定的换气量来实现。过滤器的性能及长时间的堵塞，会影响空气的洁净度。因此需要检测过滤器的状态，同时也要掌握风机的运行状态及各风管的风压。