测量准确度定义为:“被测量的测得值与其真值间的一致程度”。测量准确度只是一个概念性术语，它不是一个定量表示的量，不给出有数字的量值。当测量提供较小的测量误差时就说该测量是比较准确的，或测量准确度较高。术语“测量准确度”不应与“测量正确度”、“测量精密度”相混淆，尽管它与这两个概念有关。测量准确度有时被理解为赋予被测量的测得值之间的一致程度，这是会与测量精密度发生混淆的。
测量正确度定义为：“无穷多次重复测量所得值的平均值与一个参考量值间的一致程度”。测量正确度是一个概念性术语，它不是一个定量表示的量，不能用数值表示。测量正确度与系统测量误差有关，与随机测量误差无关。当系统测量误差小时，可以说测量正确度高。术语“测量正确度”不能用“测量准确度”表示，反之亦然。 测量精密度定义为：“在规定条件下，对同一或类似被测对象重复测量所得示值或测得值间的一致程度”。测量精密度通常用不精密程度以数字形式表示，如在规定测量条件下的标准偏差、方差或变差系数。规定条件可以是重复性测量条件，期间精密度测量条件或复现性测量条件。测量精密度用于定义测量重复性、期间测量精密度或测量复现性。术语“测量精密度”有时用于指“测量准确度”，这是错误的。