准分子灯

准分子灯

封入氙气的准分子(Excimer)灯（诱电体屏障放电Excimer灯）可有效放射波长180nm以下的VUV（真空紫外线），达到超越以往的化学反应与反应速度。

USHIO光照射装置用准分子灯

特征

单一波长、低温处理

因为是单一波长，因此可选择会引起化学反应的紫外线，并可达到不使对象物产生非必要反应或热的低温处理。

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高效率

从电力转换为光能源的效率高（172nm型的转换率10%)，即使低电力亦可产生大的能量。

可瞬间亮灯灭灯

仅于必要时照射必要量的能量，因此具备不需要快门、实际上可延长使用寿命等各种优点。

安装方向不受限制

灯的亮灯方向不受限制，可配合生产线做立面照射。

USHIO光照射装置用准分子灯

分光分布

USHIO光照射装置用准分子灯

半导体制程用装置实例

USHIO光照射装置用准分子灯

液晶制程用装置实例

USHIO光照射装置用准分子灯

主要用途

HDD光盘洗净
阻剂剥离
阻剂残渣的剥离
塑料基板的洗净
金属表面的清洗与重组
Low-k Cure 
PDP荧光体评估
分析评估前的洗净
气体分解
形成氧化膜
防止带电
干燥
玻璃胶膜的贴合
纤维的改质
有机EL封装管的接合性提升
有机EL的工作函数増加

测试机介绍

提供使用产品的实验或测试机。测试后可直接购买。
※部份使用目的与用途等无法配合需求。敬请见谅。