MIYUKI美幸辉 GAR-I100B 压力控制控制器玉崎现货

日本MIYUKI（美幸辉）GAR-I100B 属 GAR-I系列高洁净/高真空伺服控制闸阀（非单纯蝶阀，为闸板式低尘流道），公称通径 100A（DN100/ISO100），“GAR”为半导体高纯/高真空专属电动伺服无级调节阀，“I”代表高洁净/高真空升级型（密封与颗粒控制严于标准J型），“B”为标配内置电磁刹车（断电锁位）。阀体采用 SUS304不锈钢 镜面抛光，内腔无金属滑动摩擦副，适配 10⁵Pa常压至10⁻⁶Pa高真空 全工况，内部泄漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s、轴封 ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。核心为 DC24V一体式伺服直驱闸板（0～90°无级调节，无减速齿轮零背隙），开度重复定位精度≤0.05°，消除齿轮间隙，微小开度下流导与压力线性稳定；标配断电电磁抱闸，突发停电瞬间锁死阀位防大气倒灌。密封件标准 FKM氟橡胶O型圈（可选Kalrez全氟醚耐200℃），阀体耐温 ≤150℃、电机环境 ≤40℃，支持 0–10V/4–20mA 或 RS-485 对接 MGCS-11、MG-mini485、MS-VP 等控制器实现PID闭环调压。广泛用于8/12寸晶圆刻蚀、CVD/PVD、ALD、离子注入等大型高洁净腔体排气与流导控制，相较GAR-J100B，I型洁净与泄漏更严；相较BAR-I100，产尘更低且带断电锁位，出厂经气密与开度线性全检，是大容量高洁净腔体稳压的核心执行元件。