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第13年
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新闻详情
6.5日到货，日本EBARA荏原真空泵EV-A10-2S
日期：2026-10-07 01:09
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摘要：日本EBARA荏原真空泵EV-A10-2S
日本EBARA荏原真空泵EV-A10-2S
日本EBARA荏原真空泵EV-A10-2S
EBARA EV‑A10‑2S 是日本荏原（EBARA）的小型、空冷、无油（干式）多段罗茨真空泵，主打清洁真空、不用水、单相 200V、低噪音，在半导体 / 锂电 / 镀膜 / 实验室很常用。
一、型号含义
EV‑A10：系列名，A10 = 公称抽速 1000 L/min
‑2S：单相 200–240V / 50/60Hz版本（另有三相‑3S）
二、核心参数（2026 原装规格）
抽速：1000 L/min（50Hz）；大气压下约 800 L/min
极限压力：
气镇关：≤1 Pa
气镇开：2–3 Pa
水蒸气处理：500 g/h（气镇开）
电源：单相 200–240V，50/60Hz，3.0 kVA
功耗：极限真空约1.1 kW
接口：进气 NW40（KF40），排气 NW25（KF25）
尺寸 / 重量：约 560×320×450 mm，72–75 kg，带脚轮
冷却：空冷（无需冷却水）
噪音：约 52 dB (A)，洁净室友好
三、结构与特点
干式无油：罗茨 + 爪式复合转子，腔体完全无油，无油雾污染、无返油。
空冷免水：不用冷却水，即插即用（plug & pump），安装简单。
耐腐蚀：转子涂层 + 特种密封，可处理少量水汽与弱腐蚀气体。
节能智能：DC 电机 + 怠速 / 休眠控制，低负载省电。
**合规：CE、SEMI‑S2、UL 认证株式会社荏原製作所。
四、典型用途
半导体：Load Lock、真空传送、等离子清洗
锂电：注液前干燥、真空封装
真空镀膜：PVD、溅射、蒸镀前级泵
分析仪器：质谱、电镜、检漏系统
科研 / 工业：冻干、脱泡、小型真空炉