企业信息
第13年
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新闻详情
3.25日到货，日本USHIO牛尾紫外线灯管UVL-7000M4-0
日期：2026-10-12 19:45
浏览次数：162
摘要：日本USHIO牛尾紫外线灯管UVL-7000M4-0
UVL‑7000M4‑0 是日本 USHIO（牛尾） 出品的超高压短弧汞灯，专为半导体、LCD、PCB 等精密光刻 / 曝光制程设计，以高亮度、长寿命、近点光源、三波长均衡输出为核心优势。
一、核心规格（官方 / 行业参数）
表格
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 品牌 / 型号 | USHIO 牛尾 UVL‑7000M4‑0 |
| 光源类型 | 超高压短弧汞灯（SHP） |
| 额定功率 | 7000W（7kW） |
| 主波长 | 365nm（i‑line）、405nm（h‑line）、436nm（g‑line） 三主峰 |
| 光源特性 | 短弧、近点光源，利于平行光与均匀照度 |
| 寿命 | 长效型 ≥ 2000 小时；普通型 ≥ 1000 小时 |
| 灯管材质 | 高纯石英玻璃（高 UV 透射、耐高温） |
| 配套要求 | 必须使用 USHIO 专用电源 / 镇流器 + 强制风冷 |
| 应用定位 | 高精度曝光、光刻、图案转移 |
二、核心性能与优势
-
三波长均衡输出
365/405/436nm 强度匹配，适配多种光刻胶与曝光制程，覆盖半导体、LCD、OLED、PCB、MEMS 等精密图案形成。
-
近点光源特性
电弧尺寸极小，接近理想点光源，光学系统易实现高平行度、均匀照度，保障微米‑纳米级分辨率。
-
高稳定性与长寿命
辐照度波动小、光衰可控；长效型寿命达 2000h+，适合连续生产，降低更换与停机成本。
-
工业级耐用
高纯石英 + 精密电极密封，耐受超高压与高温，适配严苛工业环境。
三、典型应用场景
- 半导体：晶圆光刻、掩膜版曝光、电路图案形成
- 显示面板：LCD/OLED/ 彩色滤光片 / 触摸屏图案曝光
- 电子制造：PCB 线路、FPC、MEMS 器件精密曝光
- 其他：精密光学元件、微结构、光刻胶固化
