精度高达+/-0.1气泡分位
V-沟底部与V-沟的平行度在2.5UM之内
水平尺的底边的平度均在0.003气泡分位之间
V-沟的精度亦在0.7气泡分位
90度直角之精度在0.01mm之内，达到日本JIS标准
大小（mm）
敏感度（每米）
100
0.02（4秒）
150
200
250
300
450