基恩士基恩士激光位移傳感器SI - F80R系列是主要品牌的產品,產品有壹個精確的測量性能好,並已經引起了人們的關註。
它可以達到的精度測量芯片厚度,壹個對象的過程中,測量,幾乎不受芯片設計,在同壹品牌的*高規格,使用近紅外SLD,可以通過矽、砷化鎵、磷化銦、碳化矽、非晶矽和其他半導體,即使芯片已經鎖定了BG(背景)磁帶,也可以精確測量厚度的薄片,通過減少光光斑直徑和表面在觀點的差異,可以減少芯片表面模式的變化和頻率測量報警。
激光位移傳感器SI - F80R系列有壹個功能是聯系測量,但這種方法可能會損壞芯片。
高度的傳感器測量範圍,包括BG磁帶,壹旦帶厚度的變化,其結果將會出現錯誤。
它的測量範圍是10到310(包括m(n = 3.5),實現了檢測距離的80到81.1毫米,線性是正負0.1(包括米,分辨率為0.25(包括米、脈沖持續時間是200(包括年代,傳感頭IP64防護等級,相對濕度為35到85%H(無冷凝),重約70克。
傳感頭和譜單元校準成對。兩者不可互換。