真空度测试仪的相关知识

控放电，以单片机为主控单元，并且在测试过程完全实现自动化。真空度测试仪的主要作用是,根据磁控放电的方

法测量真空泡内离子电流,以此量测量泡内真空度,并可用于评定真空泡使用寿命。研制的测试仪可用于测量泄漏

电流、全电流和离子电流3个电流值。
      

        (1)泄漏电流。将真空泡动静触头拉开一定的间距,并加高压直流脉冲电压,则会在两触头间、触头和屏蔽

罩间产生强电场。根据场致发射理论,阴极和屏蔽罩表面会发射出电子,向阳极运动,形成电流,即泄漏电流。由于

电子的自由行程远远大于两触头间距,电子几乎不与真空泡内残余气体分子发生碰撞,所以泄漏电流不能正确反应

真空泡的真空度。
      

         (2)全电流。为了使泄漏电流的电子能够与残余气体分子发生碰撞,目前常用的方法是在轴向上加上一个

较强的磁场,使得发射的电子在电场和磁场的共同作用下发生螺旋运动,这样就加大了电子运动的行程及与残余气

体分子发生碰撞的概率。电子与残余气体分子发生碰撞后会产生电离现象,并形成稳定的自持放电,这时测量出的

电流值即为全电流值。
      

         (3)离子电流。全电流的测量值包括了阴极和屏蔽罩发射的泄漏电流,以及残余气体被碰撞后产生电离的

离子电流。为了准确测量真空泡内的真空度,还得从全电流中减掉泄漏电流值,得到的才是真正反映真空泡真空度

的离子电流值。真空泡使用寿命评定原理:真空泡随着正常使用时间的增长,内部真空度也呈线性增加。通过测定

两个间隔时间比较恰当时的真空度,就可确定其变化率,从而确定使用过任意时间后真空泡真空度的大小。