与µsurf系列共聚焦显微镜和µscan 3D扫描共聚焦显微镜特性的几何可以测量的，在制造过程中的各个阶段的非接触式和非破坏性的方式自动计算。在机械制造、光学和化学成分的NanoFocus 3D扫描共聚焦显微镜测量系统帮助制造商降低成本和生产无缺陷产品。
压力传感器
在通过蚀刻的高压传感器的生产中，各种几何参数（深度，宽度，层的厚度）和粗糙度被检查来配置制造过程。µ冲浪捕捉表面粗糙度、支柱的微观几何形态，以及涂层的金属表面都只测量。 菲涅尔透镜
当在玻璃中检查亚微米结构时，测量仪器必须可靠地测量，同时，具有高的分辨率-即使在弱反射的情况下。为了实现这一µ冲浪可以适应材料的反射特性。 微流控芯片
在微流控芯片的表面面积的评价通常是必需的。三维轮廓扫描定制µ经常选择的解决方案。尽管陡峭的边缘，非常平坦的表面，它可靠地确定横截面面积，高度，宽度，和阀门和通道的体积。该软件使各种参数的分析，只需点击几下。 显微透镜
微透镜可以三个维度和非破坏性在使用µ冲浪技术生产过程中各阶段的测量。检查成型工艺的质量，主和副本进行了比较和定量提出的偏差。透镜的几何形状被自动捕获在制造的透镜阵列的检查。拼接和自动对焦功能，使得完整的透镜阵列被收购。