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技术文章

半导体芯片行业量身定制的腐蚀性流体监测**

精密掌控,国产力量:为半导体芯片行业量身定制的腐蚀性流体监测**

在半导体芯片制造的核心环节中,每一滴腐蚀性液体、每一缕特种气体的**计量,都直接关系到工艺的稳定性与芯片的良率。面对高纯酸碱、卤素气体等严苛介质,传统的测量仪表往往力不从心。

现在,我们带来专为半导体行业攻坚而生的解决方案——SC-P7100氟树脂玻璃转子流量计。它不仅是国产仪表的一次技术飞跃,更是您实现关键流程自主可控、降本增效的可靠伙伴。

为何SC-P7100是半导体腐蚀性流体监测的更优解?

  • 直面强腐蚀,材质是底气:流量计本体采用ETFE、PFA、PCTFE等**氟树脂材料,测量锥管可选高硼硅玻璃或耐腐蚀性更强的PCTFE,配合全氟醚密封圈,直面氢氟酸、盐酸、氯气等强腐蚀介质的长期挑战,从容不迫。

  • 专注微小流量,精度即生命:针对半导体工艺中常见的微小流量添加与监测需求,SC-P7100提供从液体3mL/min,气体50mL/min起始的宽广测量范围,精度可达±5% F.S.,确保工艺参数精准可控。

  • 为芯片制造场景而生:

    • 紧凑易集成:轻便紧凑的设计,支持面板嵌入式安装,**适配洁净车间内空间有限的设备面板与系统集成。

    • 可视更安心:直观的玻璃锥管显示,让流体状态与流量值一目了然,便于现场快速巡检与工艺验证。

    • 连接标准化:标准Rc1/8接口,并提供定制支持,轻松对接现有管路系统。

核心参数一览,满足严苛规划

项目 参数说明
主要材质 本体:ETFE/PFA;锥管:高硼硅玻璃/PCTFE;密封:全氟醚
测量范围 液体:3-30 mL/min 至 0.4-2 L/min
气体(空气标准状态):50-500 mL/min 至 2-20 L/min
量程比 10:1 (支持特殊定制)
精度 ±5% F.S. (支持更高精度定制)
工作压力 ≤0.5 MPa
工作温度 ≤70℃
典型应用 湿法清洗(酸/碱槽液)、刻蚀工序(腐蚀性气体)、化学品分配系统监测、实验室研发

国产替代,价值超越预期

SC-P7100并非简单的进口替代品。我们深入理解国内半导体厂商对成本控制、交货周期、技术服务响应的迫切需求。

  • 可靠媲美进口:产品功能与可靠性经过严格验证,完全达到国际同级水准,可放心用于关键监测点位。

  • 成本优势显著:打破国外品牌溢价,为您提供更高性价比的选择,助力降低设备与运营成本。

  • 服务响应敏捷:从**的技术选型支持,到特殊量程、材质、接口的快速定制开发,我们提供贴身的技术服务与解决方案,响应您的每一个独特需求。

携手双诚,赋能中国“芯”制造

常州双诚热工仪表厂专注于流量仪表的研发与制造,我们深知半导体产业对于精密测控的**要求。SC-P7100系列代表了我们助力芯片国产化的决心与能力。

让我们共同探讨:

  • 如何为您的特定腐蚀性介质(如BOE、SC1/SC2、氯气等)提供*适配的材质方案?

  • 如何将SC-P7100集成到您的清洗机台、刻蚀设备或化学品输送系统中?

我们提供**的国产替代方案与特殊流量计开发,欢迎随时进行技术交流与咨询。选择SC-P7100,选择一份对工艺的精准掌控,更选择一份支持国产核心装备发展的坚定力量。


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