ISO-14644的洁净度等级表。
一、净化工程洁净室主要根据室内洁净度、气流形式、控制对象、结构等特点分类。按室内洁净度分类主要分为1级、10级、100级、10000级、10000级。按控制对象分类分为工业洁净室和生物洁净室。工业洁净室以空气中的悬浮尘埃为控制对象,生物洁净室以悬浮生物粒子(微生物)为控制对象。洁净室它是悬浮粒子浓度受控,其建造和使用方式使得进入、产生、滞留于室内的粒子较少的房间。室内的其它参数包括:温度、温度、气压等,按需要受控。
二、ISO-14644的洁净度等级表。
洁净室及洁净空气中悬浮粒子的洁净度等级ISO-14644
空气洁净度等级(N)
≥表中粒径的*大浓度限值(个/m3)
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
1μm
5μm
1
10
2
/
100
24
4
3
1000
237
102
35
8
10000
2370
1020
352
83
5
100000
23700
10200
3520
832
29
6
1000000
237000
102000
35200
8320
293
7
352000
83200
2930
3520000
832000
29300
9
35200000
8320000
293000
洁净度等级表(ISO 14644标准) ISO等级 ≥0.1μm粒子限值(个/m³) ≥0.5μm粒子限值(个/m³) 典型应用场景 ISO 1级 ≤10 ≤2 纳米级半导体制造 ISO 3级 ≤1,000 ≤102 **芯片光刻区 ISO 5级 ≤100,000 ≤3,520 生物制药A级无菌灌装区、百级手术室 ISO 7级 — ≤352,000 万级洁净车间(电子装配、医疗器械生产) ISO 8级 — ≤3,520,000 十万级食品包装、普通实验室
核心分类与行业适配 工业洁净室 控制对象:悬浮尘埃粒子(如0.1μm~5.0μm常规粒子) 典型等级: ISO 1-3级:半导体晶圆制造(带宽<2μm工艺) ISO 5-7级:液晶面板组装、精密液压设备装配7 生物洁净室 控制对象:悬浮微生物及超微粒子(<0.1μm) 典型等级: ISO 5级:无菌药品分装、移植手术室(动态百级) ISO 7-8级:食品微生物检测、普通生物实验室 特殊行业标准对照 医药GMP规范:A级区对应ISO 5级(微粒≤3520个/m³且微生物<1CFU/m³) 中国GB 50073:对电子厂房增设0.1μm微粒动态控制(如ISO 5级要求0.1μm粒子<1000个/m³)
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