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成功案例

半导体行业净化解决方案


    **的晶圆设备，微粒过滤和控制AMC是必须的，微粒过滤和控制AMC是高收益、低退货率的半导体行业首要担心的问题。不能很好的在洁净室或设备中控制微粒或MAC将大大的削弱企业的经营利润。洁净室的需要对产品、工具加工过程中的气味进行控制。

污染物
来源
引发问题
解决方案
粉尘
空气
造成集成电路断路、断路
影响成品率
化过过滤模块+高效过滤器/FFU
NH3NMP
外气
“T-top”现象
化学过滤模块

半导体行业净化工程

    传统的通风形式是在车间的整个天花板满布高效过滤器，整个地面为回风栅板。如今我公司生产的FFU使用自带风机的过滤装置，解决了繁复的安装和性价比问题，是目前市场上一种安静、价格优良的机组，为洁净室传送高质量的循环空气。

半导体行业部分客户名单
广东爱立信科技有限公司
东莞三星视界有限公司
深圳昊谷光电技术有限公司
深圳深爱半导体有限公司
深圳市芯远半导体有限公司
深圳市轴心自控技术有限公司
深圳市博宇线路板设备有限公司
深圳晶力威硅胶科技有限公司
注：以上排名不分先后
 
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