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洁净室分级标准

*好先说明洁净室标准所使用的粒径来开始本书的这一章节。粒径的测量单位是微米，1微米（μm）等于百万分之一米。一根人发很容易被看到，其直径大约是70～100μm。另一个可帮助理解粒径概念的例子是，人眼所能看到的粒径大约为50μm。当然，还要看视力水平，粒子的颜色、背景颜色等。

洁净室的级别是按其空气洁净度划分的。美国联邦标准209A至D的洁净室分级*容易理解。但该等级正被*新版本E所取代，后又被ISO14644-1所取代。尽管如此，老版本仍被广泛采用。在联邦标准的老版本中（A至D），大于等于0.5μm粒子的数量是按每立方英尺空气计数的，并以次计算和划分洁净室的等级。而*新的联邦209E标准采用了公制。到1999年，颁布了ISO14644-1。该标准已经被欧洲所有国家采用，并逐渐为世界其他国家所采用。

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