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- 产品名称:表面尘埃粒子计数器
- 产品型号:CL-BM1915
- 产品展商:长留科技
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- 发布时间:2025-08-21
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简单介绍
CL-BM1915 表面微粒检测仪主要用于测量各种高洁净度要求的产品,光学镜片组件、液晶面板及超净微环境受控的半导体机台、光刻机、芯片等表面所附着的尘埃粒子的粒径大小及单位面积内的数量。
本仪器的核心零部件(光学传感器)及控制器等采用美国 Lighthouse 所生产的组件来保证该产品的测量精度。
产品描述
CL-BM1915 表面微粒检测仪
CL-BM1915 表面微粒检测仪主要用于测量各种高洁净度要求的产品,光学镜片组件、液晶面板及超净微环境受控的半导体机台、光刻机、芯片等表面所附着的尘埃粒子的粒径大小及单位面积内的数量。
本仪器的核心零部件(光学传感器)及控制器等采用美国 Lighthouse 所生产的组件来保证该产品的测量精度。
本仪器机壳采用 SUS316L 不锈钢制作,并经表面精细钝化处理。高清彩色触摸液晶屏显示操作,检测光学传感器采用美国进口整机,吸气的气泵为旋片式进口气泵,并可通过流量传感器来自动补偿调节气泵的运行流量,使其连续保持在稳定的检测流量范围内,表面测试探头根据德国同类产品进行改良优化,并配有防静电软管辅助采样,排气及吸气过滤采用先进的囊式过滤器。内部滤材为德国进口,从而保证仪器的检测精度及运行稳定性,本仪器操作简便,稳定性强,
精度高。
*表面微粒检测仪由三大部分组成:
*扫描取样头:取样的同时可以提供一定压力的吹扫气流,可以集成操作控制器;
*激光尘埃粒子计数器主机:主要由采样气泵、激光传感器、主控板、过滤器以及电池组成;
*连接主机与扫描采样头的管道:包括取样管道与吹扫管道。
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*检测通道
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0.1、0.3、0.5、1.0、3.0、5.0、/0.3、0.5、1.0、3.0、5.0、10.0μm 六通道 2选一
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*计数效率
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0.3μm 50%±20%(**粒径通道) 0.5μm
100%±10%(**粒
径通道)
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采样流量
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28.3L/min ±5%,可通过触摸屏控制自行流量调节
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采样时间
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0~24h
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重复性
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相对标准偏差≤10%
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粒径准确度
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相对误差≤10%
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自净时间
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≤10 min
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*激光光源
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激光二极管,经过特殊工艺优化理论寿命为 20 年(MTT)或寿命大于
40000 小时
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显示方式
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高清触摸液晶显示屏
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允许*大采样浓
度
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35000 颗/L(尘埃颗粒粒径不小于 0.3um),采样空气中不得含酸碱等腐
蚀性气体
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外形尺寸
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265mm×265mm×255mm
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重量
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7.4kg
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*大功耗
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35W
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电源
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16.8V 内置锂电池/DC16-24V 外部宽电压供电
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粒径通道1
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0.1
um、0.3 um、0.5 um、1.0
um、3.0 um、5.0 um
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粒径通道2
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0.3um、 0.5um、 1.0um、3.0um、5.0um、10.0um
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采样周期
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3s、6s
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数据存储
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5000 组
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表面材质
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SUS316L
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连续工作时间
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9 小时
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使用环境条件
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温度:10-35℃ 湿度:20-75RH 大气压:86-106kPa
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零计数
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≤10 分钟内连续 3 分钟为 0
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执行标准
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ISO/FDIS
21501-4:2018、GB/T 6167-2007、JJF 1190-2008
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采样口径
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1/4”Flaretek™
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采样温度
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32-302°F(0-150℃)
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操作界面
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彩色触摸屏控制便于操作和设定,能同时显示 6 个通道的数据,分辨率
320×240,屏幕数据缩放功能
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输出方式
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内置热敏打印机或 RS485 协议
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电源
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AC100~240V 50~60HZ
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语言
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中、英文切换
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