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RoHS检测仪器的分析原理


      RoHS检测仪器就是X射線熒光光譜儀,其分析原理也就是X射線熒光光譜儀的分析原理。X射線熒光光譜儀通常可分為兩大類,波長色散X射線熒光光譜儀(WDXRF)和能量色散X射線熒光光譜儀(EDXRF),波長色散光譜儀主要部件包括激發源、分光晶體和測角儀、探測器等,而能量色散光譜儀則只需激發源和探測器和相關電子與控制部件,相對簡單。
波長色散X射線熒光光譜儀使用分析晶體分辨待測元素的分析譜線,根據Bragg定律,通過測定角度,即可獲得待測元素的譜線波長:
nλ=2dsinaθ (n=1,2,3…)
式中 ,λ為分析譜線波長;d為晶體的晶格間距;θ為衍射角;n為衍射級次。利用測角儀可以測得分析譜線的衍射角,利用上式可以計算相應被分析元素的波長,從而獲得待測元素的特征信息。
能量色散射線熒光光譜儀則采用能量探測器,通過測定由探測器收集到的電荷量,直接獲得被測元素發出的特征射線能量:
Q=kE
式中,K為入射射線的光子能量;Q為探測器產生的相應電荷量;k為不同類型能量探測器的響應參數。電荷量與入射射線能量成正比,故通過測定電荷量可得到待測元素的特征信息。
待測元素的特征譜線需要采用壹定的激發源才能獲得。目前常規采用的激發源主要有射線光管和同位素激發源等。
為獲得樣品的定性和定量信息,除光譜儀外,還必須采用壹定的樣品制備技術,並對獲得的強度進行相關的譜分析和數據處理。
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