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奥瑞视深入开发靶材超声C-SCAN检测系统,掌握多项核心技术

 

溅射靶材作为半导体集成电路、记录介质、液晶平面显示LCD以及太阳能等行业的重要功能材料,其应用与需求逐年增加。靶材的质量对后续产品的影响是决定性的,目前美国、日本、德国等靶材行业的知名企业均采用超声C-SCAN检测设备,如美国Angstrom公司,日本东曹(TOSOH)、三洋(SANYO),德国贺利氏、GFE等,可以说C-SCAN设备已经成为靶材制备及绑定加工行业不可或缺的质量检测设备。相应的国际标准有ASTM F1512-94(2003)等,国内标准也在制定中。

奥瑞视依靠多年无损检测行业以及有色金属材料加工领域的经验,为有色金属靶材行业提供超声C-SCAN检测设备。能够对各种有色金属靶材(板靶、管靶、高纯金属铸锭)及其绑定(Bonding)质量进行检测,探明靶材内部夹杂、分层、缩孔、孔洞、气泡、内裂、疏松等细小缺陷检测绑定层的氧化物杂质、未焊合、分层、空隙等缺陷,测量绑定层的厚度均匀性等。奥瑞视的靶材超声C-SCAN检测软件专门针对有色金属的检测特征、靶材行业检测的要求进行了定制,在通用超声C扫描功能的基础上,还具有F特征扫描、焊合率评估等特色功能,能全方位对原材料、靶材质量进行评定。

奥瑞视目前已经在靶材用高纯金属原材料,如:高纯铜、铝、镍、钌等,金属靶材,如:钨、钼、铝,氧化物陶瓷靶材,如:ITO,合金靶材等方面取得众多业绩,形成了板靶、圆盘靶、管靶、大尺寸铸锭、靶材绑定质量的成熟检测工艺。奥瑞视的C-SCAN-ARS靶材超声检测系统在国内多家靶材知名企业得到应用,深得客户的好评。

奥瑞视依靠技术团队深厚的行业经验、研发实力及成熟稳定的产品,急客户之所急,为企业提供靶材样品检测服务,按标准出具检测报告。目前奥瑞视的靶材超声C-SCAN样机可检测的范围高达4m*2m,管、棒靶材的直径可从80mm-350mm

热诚欢迎国内有色金属、靶材生产企业来电洽淡。

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靶材检测图