洁净室正压控制
第5．2．1条洁净室必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，应不小于0．5毫米水柱；洁净区与室外的静压差，不应小于1．0毫米水柱。
第5．2．2条洁净室维持不同的正压值所需的正压风量，宜按下式计算： Q＝a．∑(q．L) （5．2．2）
式中Q一维持洁净室正压值所需的正压风量（立方米／时），
a一根据围护结构气密性确定的**系数，可取l．l－l．2；
q一当洁净室为某一正压值时，其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量（立方米／时·米）；
L一围护结构的缝隙长度（米）。
第5．2．3条围护结构单位长度缝隙的渗漏风量可按表5．2．3采用。
围护结构单位长度缝隙的渗漏风量表5．2．3
第5．2．4条送风、回风和排风系统的启闭应联锁。系统开启时，联锁程序应为先启动送风机，再启动回风机和排风机；系统关闭时，则联锁程序应相反。
第5．2．5条非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求在置值班风机，并应对新风进行处理。
第四节空气净化处理
第5．4．1条各等级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。注：100,000级空气净化处理,可采用亚高效空气过滤器代替高效空气过滤器。
第5．4．2条确定集中式或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产工艺特点和洁净室空气洁净度等级、面积位置等因素。凡生产工艺连续、洁净室面积较大、位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式净化空气调节系统。
第5．4．3条净化空气调节系统设计应合理利用回风。凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求或对其他工序有危害时，则不应利用回风。
第5．4．4条净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口渗入洁净室内的防倒灌措施。
第5．4．5条空气过滤器的选用、布置和安装方式，应符合下列要求：一、初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器
二、中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；
三、高效空气过滤器或亚高效空气过滤气宜设置在净化空气调节系统末端；
四、中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用；
五、阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一洁净室内；
六、高效空气过滤器的安装方式应简便可靠，宜于检漏和更换。
第5．4．6条送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择。中效、高效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。
第5．4．7条净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在高效空气过滤器的上风侧，并应有防火**措施。