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空气洁净度级别划分
              美国联邦标准FS209E的空气洁净度级别
级别名称级别限制
0.1υm　0.2υm　0.3υm　0.5υm　5υm　
容积单位　容积单位　容积单位　容积单位　容积单位　
国际单位英制单位M3ft3M3ft3M3ft3M3ft3M3ft3
M1　3509.9175.72.1430.90.875100.283　　
M1.51124035.52653.5106335.31　　
M2　3500099.175721.53098.751002.83　　
M2.51012400350265075.510603035310　　
M3　350009917570214309087.5100028.3　　
M3.5100　　26500750106003003530100　　
M4　　　7570021403090087510000283　　
M4.51000　　　　　　3530010002477
M5　　　　　　　1000283061817.5
M5.510000　　　　　　3530010000247070
M6　　　　　　　1000000283006180175
M6.5100000　　　　　　3530010000024700700
M7　　　　　　　100000028300618001750
以是209E空气洁净度级别划分相关参数.
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