日本SIMCOION负离子除静电系统4214杉本销售
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対応延长ISO Class1,10nm高纯度氮气离子系统4214
负离子4214模型（离子系统制造），可以实现一个良好的平衡和离子，相应的高洁净度“的ISO Class1的，10nm的”延长，甚至在高纯度氮气离子系统。
· 采用单结晶硅电极支持超低粒子。
· 确保一个稳定的长期自身机制的清洁不干净颗粒释放到外部
· 采用智能控制电路，不需要任何调整
· 离子一代不断监测传感器的内部器官，取得了一定的电离
· 内置的集成电源控制器的设计紧凑
· 在低流量，高电压自动关机功能保护产品
· *适合超低粒子半导体制造工艺的**
· 24V直流驱动器
| 输入电压 | 24V DC + / -5％6W典型。 |
| 离子平衡 | <+ /-25V无40LPM距离150毫米管道连接 |
| 放电时间 | <10秒，无管道连接40LPM距离150毫米
+ /-1KV→/ - 100V充电平板显示器 |
| 离子生成方法 | 高频交流电晕放电法 |
| 卫生 | ISO Class1的，“的ISO Class1的，10nm的延伸”0.1微米* |
| 电极 | 可以更换单晶硅 |
| 支持吹扫气体 | N2> 99.998％ |
| 流 | 40LPM（36.5Kpa）〜90LPM（171kpa） |
| *大压力吹扫 | （流量= 100LPM）207Kpa |
| *大的气体温度 | 60degÇ |
| 氮气吹扫连接 | 水暖Swagelok3 / 8“OD |
| N2连接电离 | 1/4NPT内螺纹连接选项或联合
管道连接Swagelok1 / 2“外径28-25710-SC |
| 工作温度范围 | 15〜60degç |
| 信号输出 | 打开/关闭，离子产量下降的报警和接触 |
| 维 | 的深度72.4毫米x152.4毫米x 32毫米宽长度的
管段不包括在内 |
| 重量 | 640克 |
| 外观 | 不锈钢 |
| 安装方法 | 长度超过10mm M5 Nejineji回少 |